Продукция

Внешняя манипулирующая машина

Внешняя палочка обеспечивает точное скостное скопление для материалов пластин, создавая гладкие, скопленные края, одновременно устраняя Micro - трещины и острые края.

Отправить запрос

Особенности

Приложение

АВнешняя манипулирующая машинаПолучает точное скостное скопление для материалов пластин, создавая гладкие, скошенные края, одновременно устраняя Micro - трещины и острые края. Совместимое с 150-200 мм (6-8 ") пластинами, включая кремниевые, сапфиры, SIC и GAAS, это специализированное оборудование обеспечивает превосходное качество краев для производства полупроводников.

Weg200 - 2p-fa Внешний сборник

Номер модели			Weg200 - 2p-fa
Метод снятия			Используйте алмаз комбинированный формирование полировки шлифовального руля, чтобы размолоть и отполировать срезанные пластины
Главный вал стола подшипника		число	1
		Диапазон скорости (оборотная часть)	60-1000
Шлифовальный вал		число	2
		Диапазон скорости (оборотная часть)	1000-40000
Размер пластины			4 ', 6 дюймов', 8 дюймов '
Обработка Точность	Допустимость диаметра		± 10um
	Амплитуда (A1, A2) отклонение		Меньше или равен 30 мкм
	Округлая кристалла		± 10um
	Рецепт		± 0,1 градуса
	Точность глубины		± 5um
	Точность повторяемости измерения толщины		± 2um
Структура оборудования			Двойные рабочие станции